Nanoscale X-Ray Microscopy를 위한 샘플 처리는 반도체, 재료 연구 및 석유 및 가스 산업 전반에서 샘플 생성에 중요한 분야가 되고 있습니다.
엑스레이 현미경 (XRM)은 다양한 표본 유형 및 샘플 크기에 걸쳐 내부 마이크로 구조 및 나노구조의 3 차원 이미징을 제공합니다.
고해상도 3D 엑스레이선 현미경을 사용하면 반도체 장치 분석, 재료 연구 시 금속 입자 구조, 석유 및 가스 탐사를 위한 암석 샘플과 같은 응용 분야에서 샘플을 비파괴 적으로 이미징 할 수 있습니다. 현미경 시야와 침투 깊이에 맞게 샘플 크기를 줄여야하며 Oxford Lasers는이 작업을 효율적으로 수행하는 반자동 샘플 준비 도구를 개발했습니다.
2 단계 레이저 공정을 사용하여 대량의 매크로 재료로부터 소형 샘플을 만듭니다. 둘째,이 샘플은 적용에 적합한 일반적으로 50 마이크론 크기로 축소됩니다.
레이저 마이크로 머시닝을 통한 샘플 처리는 암석 및 세라믹에서 금속 및 반도체에 이르기까지 다양한 재료와 호환됩니다. Oxford Lasers는 10년 넘게 전 세계 기업 및 연구 기관에 sample preparation tool을 생산, 공급해 왔습니다.
SAMPLE PREPARATION FOR X-RAY MICROSCOPY
Sample Preparation for Nanoscale X-Ray Microscopy, is becoming an important activity in the creation of samples across the Semiconductor, Materials Research and Oil and Gas Industries.
X-ray microscopy (XRM) provides three-dimensional imaging of internal micro and nanostructures across a range of specimen types and sample sizes.
High resolution 3D X-ray microscopes allows non-destructive imaging of samples for applications such as analysis of semiconductor devices, grain structures of metals in materials research and rock samples for the oil and gas exploration. Samples must be reduced in size to match the microscopes field of view and penetration depth and Oxford Lasers have developed a semi-automated sample preparation tool that efficiently performs this task.
Utilising a two-step laser process, a small sample is created from the bulk macroscopic material. Secondly, this sample is then reduced to an appropriate size for the application, typically 50 microns.
Sample preparation by laser micromachining is compatible with a range of materials from rock and ceramic, through to metals and semiconductors. Oxford Lasers have been producing and supplying sample preparation tools for over 10 years to companies and research institutes across the globe.