Through experience and extensive technical know-how, Gencoa offer customers a complete sputtering solution. Rectangular and rotatable magnetrons offering a large choice of magnetic options are complemented by the range of ion sources for pre-cleaning, and process tools such as the powerful Speedflo process controller and Optix sensor.
Optix Gas Leak Detection System
Optix는 진공 환경에서 신속한 가스 검출(gas sensing)를 위한 다목적 장비로, 대부분의 진공 증착 연구 및 생산 공정에서 폭 넓은 작동 압력을 통해 구동됩니다. Optix는 optical window로 화학 물질과 분리되어, 센서 헤드 내에서 소규모 플라즈마를 생성하는 원격 플라즈마 분광학 개념(remote plasma spectroscopy concept)을 사용합니다. 내장된 분광계는 플라즈마를 분석하고, 자동으로 광 스펙트럼을 해석하여 진공 내 존재하는 가스와 농도를 정량적으로 측정합니다.
Optix의 스펙트럼 정보와 정교한 back-end software는 탄화수소 및 유기용매, long chain polymer와 관련된 오염 공정을 포함하여 광범위한 응용 분야에서 다양한 용도로 사용됩니다. CVD와 ALD 프로세스에서는 플라즈마 헤드의 오염을 방지하기 위해 장치에 약간의 변화를 주기도 하며, 가스를 센서로 가져오는 소형 러핑 펌프(roughing pump)를 사용하여 대기에서 감지하는 것도 가능합니다.
Optix는 다양한 진공 시스템 간에서 전환이 용이하고, 전용의 leak detection을 위한 초고감도 single gas option도 제공합니다. 또한 휴대성이 좋아서 요청 시 현장 테모 테스트가 가능합니다.
Applications/Processes
- ALD
- CVD
- Etch
- Heat treatment
- Hipping
- Leak detection
- MOCVD
- OLED
- Plasma spraying
- Process gas analysis
- PVD
Pressure regime advantages
- 넓은 압력 범위, 대부분의 공정 압력에서 직접 작동
- 비싸고 복잡한 differential pump가 필요하지 않습니다.
- Differential pump system에서도 그릇된 측정값이 발생하지 않습니다.
- 필라멘트를 사용하지 않으므로 유지 관리가 간편합니다.
- ALD 및 CVD 공정 전용의 버전으로 내화학성을 갖추고 있습니다.
- 총 압력 지시값의 자동 교정
- 진공 상태를 직접 모니터링하면 변동 사항이 즉시 등록됩니다(m/sec 속도의 응답).
- RGA 및 differential pump 조합보다 훨씬 저렴합니다.
Interface
- 고급 Windows 사용자 인터페이스를 갖추고 있어 공정과 진공 상태에 대한 명확한 시각화를 제공하며, 데이터를 기록하고 참고하는 강력한 도구를 통해 공정 문제를 쉽게 식별할 수 있습니다.
- 최대 20개의 가스를 동시에 모니터링할 수 있습니다. 공정가스 트래킹을 트리거링/알람으로 설정할 수 있습니다.
- 완벽하게 튜닝 가능한 200-850nm의 spectrum view와 함께, 감도 조정을 위한 통합 시간 제어(integration time control)를 제공하며, 자동 가스 피크 감지는 특정 관심있는 피크를 포함하여 자동 가스 식별 데이터베이스에서 작동합니다.
Software features
- 원자 및 분자 방출 특성을 위한 빌트인 스펙트럼 데이터베이스
- 자동화된 스펙트럼 해석
- 자동 또는 사용자 정의 원소에 대한 시간 플롯 (time plot)
- End point 감지 또는 프로세스 제어를 위한 맞춤형 트리거 설정 (trigger setup)
- 포괄적인 데이터 기록 및 데이터 비교 기능
- 진공 품질 추적기 (vacuum quality tracker)
- 누출 감지 모드 (leak detection mode)
More information on the features included in the Optix software are detailed in the video presentation on Real time spectral plasma analysis software tools
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