Soft-etching System

• 기계적인 제거를 위한 기재 처리: Sticky-tape method이라고 알려진 mechanical exfoliation를 통해 2D 재료 '플레이크(flakes)'를 처리할 때 기재 표면의 특성이 중요합니다. Soft-etching system는 큰 플레이크 영역을 생성하는 데 필요한 토폴로지 및 화학적 기재 표면의 특성(topological and chemical substrate surface property)을 얻는 데 사용됩니다.
• 2D 재료 패터닝: 2D 재료는 얇기 때문에 깨지기 쉬우며 디바이스 제작을 위해서는 미세하게 에칭 조건을 컨트롤할 필요가 있습니다. Soft-etching 기술은 이러한 제어를 수행하며 또한 일반적인 마스크 포토레지스트(mask photoresist, 예: PMMA)를 가교결합없이 패터닝합니다.
• 결함 엔지니어링(Defect engineering): 그래핀 과학의 핵심 연구 주제는 결함 엔지니어링입니다. 소프트 에칭 기술은 낮은 플라즈마 파워를 컨트롤함으로써, 재료의 이러한 측면을 위한 제어하도록 격자에서 점 결함(point defects)을 생성하는 데 사용됩니다. 재현 가능한 결과와 통제되지 않은 재료 파괴를 방지하려면 정밀한 제어가 필요합니다.

Wafer Chuck (웨이퍼 척)

Thermal chuck systems are essential for probing, characterization, inspection and failure analysis of semiconductor wafers and devices. INSTEC incorporates its many decades of thermal control expertise into its industry-leading thermal chucks. Options include ​20mm to 300mm diameter or square standard sampling areas (custom to 600mm). Independent concentric surface vacuum groves provide sample security. Precision thermal control from -190ºC to 600ºC (custom up to 1500ºC) is accompanied with ±0.1ºC temperature uniformity and stability. Grounded, coaxial (floating), and triaxial (guarded) chuck surface options provide ultimate electrical control in a variety of applications. Optional triaxial heaters helps with electrical noise reduction.

Thermal Plate (핫/콜드 플레이트)

Thermal plates systems are essential for probing and characterization as well as everyday laboratory benchtop experiments. INSTEC incorporates its many decades of thermal control expertise into its industry-leading thermal plates. Plates are built with 20mm to 300mm square standard sampling areas (custom to 600mm or beyond). Thermal control from -190ºC to 600ºC (custom up to 1500ºC) is accompanied ±0.1ºC temperature uniformity and stability. Plates are ideally suited for AFM and other scanning probe techniques. Plates can be built with optional covers to convert them to sealed chambers with defrosting, gas purging, or vacuum capability.

UV 광경화기 (UV Curing System) 

• Light curing of UV / visible curable adhesives and resins
• High power application for UV curing of inks, coatings and paints
• Process control and industrial ultraviolet-related industries
• Medical and dental applications for ultraviolet light

인라인점도계 (Inline Viscometer)

QVis 점도계의 핵심은 견고하고 뛰어난 감도의 oscillating quartz 입니다. 마모없는 wear-free crystal로 구성되어 있어서, 액체 및 유체의 동적 점도 (dynamic viscosity)를 측정할 수 있습니다. 난류를 갖는 유체라도 유량 조건으로 부터 완전히 독립적인 측정이 가능합니다. 

QVis의 작동 원리: 시료 (테스트유체)에 quartz sensor를 담그면 quartz의 진동 거동이 변합니다. 진동 (oscillation)에 대한 각각의 영향은 점도에 따라 특이한 ​​특성을 가지고 있으며 점도를 결정하는데, flucon 점도계에 의해 완벽하게 분석됩니다. 특허 받고 검증된 신뢰할 수있는 측정 방법으로 QVis는 점도 측정 및 제어에 대한 많은 새로운 가능성을 열어주는 독창적인 기기입니다.