가이드 플레이트(guide plate)는 수직 프로브 카드(vertical probe card)의 컴포넌트입니다. 수직 프로브 카드는 자동 테스트 장비(ATE)와 테스트 대상 기기 (DUT, device-under-test) 사이에 놓이는 테스트 인터페이스입니다. 가이드 플레이트는 DUT 테스트 중에 각 프로브의 정확한 위치를 확보하도록 프로브가 장착되는 수천 개의 micro hole로 구성됩니다.
정밀도는 미세 피치 가이드 플레이트 생산의 핵심 요소입니다.
반도체 제조 기술의 발전으로 인해 테스트 장비 공급 업체에 대한 수요가 증가하고 있습니다. 테스트 패드의 크기와 분리가 감소하는 동안 테스트 포인트의 수는 증가하고 있습니다. 가이드 플레이트는 점점 더 좁은 피치를 필요로하여 hole size에 영향을 미칩니다.
추가되는 문제에는 반복성이 포함됩니다. 우수하고 견고하고 반복 가능한 공정은 우수한 수율을 생산하고 유지하기 위해 매우 높은 위치 정확도가 필요합니다.
다양한 hole shape으로 인해 더 많은 문제가 발생했습니다. 예를 들어 MEMS 프로브에 일반적으로 사용되는 정사각형 및 직사각형 홀을 생산할 때 제조업체의 과제는 모서리 반경을 줄이는 것입니다.
Oxford Lasers는 20년 이상 프로브 카드 업계의 시장 리더를위한 가이드 플레이트를 생산해 왔습니다. Oxford Lasers의 경험과 지식은 기술 경향 전반에 걸쳐 최첨단 발전을 가져 왔습니다.
square holes laser drilled in silicon nitrideGuide plate samples
GUIDE PLATE PRODUCTION FOR VERTICAL PROBE CARDS
Guide plates are a component of vertical probe cards. A vertical probe card is a test interface which sits between automated test equipment (ATE) and a device-under-test (DUT). The guide plate consists of thousands of micro holes through which probes are fitted to ensure accurate location of each probe during testing of the DUT.Precision is a key factor in the production of fine pitch guide plates.Technological advances in semiconductor manufacturing are placing demands on suppliers of test equipment. The number of test points are increasing whilst the size and separation of the test pads is decreasing. Guide plates require an increasingly tighter pitch, which in turn affects hole size.Additional challenges also include repeatability. A good robust repeatable process requires a very high positional accuracy to produce and maintain good yield.Different hole shapes have brought about more challenges. For example, in the production of square and rectangular holes (as commonly used for MEMS probes) the challenge to manufacturers is to reduce corner radii.Oxford Lasers have been producing guide plates for market leaders in the probe card industry for over 18 years. Our experience and knowledge have resulted in cutting edge developments throughout the technological curve.
