당사 (주)연진에스텍은 전 세계적으로 7,500대 이상의 마그네트론을 공급한 AJA International사의 Sputtering system과 Ion Milling System, Evaporation system, Multi-Chamber, Hybrid System을 취급하고 있습니다. 미국 AJA International사는 rotating substrate와 in-situ tilting magnetron sputter head를 가진 최초의 상업용 공초점 스퍼터링 장비인 ATC 시리즈 스퍼터링 시스템을 개발, 생산함으로써, 싱글, 멀티 레이어, 합금의 매우 균일하고 제어 가능한 증착 기술을 구축하고, 가장 인기있는 R&D 스퍼터링 시스템을 구성하게 되었습니다.
Sputtering System (진공증착장비)
R&D 스케일의 physical vapor deposition(PVD)을 위한 마그네트론 스퍼터링 시스템 (magnetron sputtering system)입니다. 본 시스템은 con-focal 또는 normal incidence, off-axis, glancing angle, "target to substrate orientation"의 조합으로 구성될 수 있습니다.
- Compact Sputtering Systems - HV, UHV의 광범위한 가능성(extensive capability) 제공.
- Flagship Sputtering Systems - 최대의 탄력성(flexibility)을 갖춘 semi-customize의 대형 HV, UHV 시스템.
- Batch Coating Systems - 고객 맞춤형으로 제작되는 HV 시스템. 파일럿 스케일의 생산 장비.
Ion Milling System (이온 밀링 시스템)
기판 쿨링과 SIMS end point detection 기능으로 다양한 크기를 물리적으로 에칭하는 시스템입니다. 최대 22 cm 직경의 RF 이온소스와 DC 이온소스가 가능합니다. 대형 소스를 위한 편리한 슬라이드 레일 액세스.
AJA사의 ATC-IM 이온 밀링 시스템은 고객 요구 사항에 따라 다양한 구성으로 구축되는 다목적 툴입니다. 챔버는 실린더형 또는 박스 스타일, HV 또는 UHV 일 수 있습니다. SIMS end point detection은 AJA의 고유한 SIMS-IS isolation system과 함께 옵션 사항으로, 메인 챔버가 벤트될 때마다 SIMS head/detector를 진공 상태로 유지할 수 있습니다.
Evaporation System (E-Beam 증착 및 열 증착)
AJA International의 ATC-E (E-Beam Evaporation) 시스템과 ATC-T (Thermal Evaporation) 시스템은 R&D 규모의 박막 증착을 위해 설계된 고도로 진화된 HV, UHV 코팅 장비입니다. 본 시스템은 로드 락 (load-lock), 이온 밀링 / 이온 보조 소스, 가열 / 냉각 기판 홀더, QCM 증착 제어 / 컴퓨터 컨트롤, AJA의 고유한 수냉식 300 Amp Thermal Evaporation Source를 특징으로 합니다.
- E-Beam Evaporation Systems - 회전식과 선형 포켓 e-gun을 가진 HV, UHV style.
- Thermal Evaporation Systems - AJA 300 Amp 수냉식 열증착 소스를 가진 HV, UHV style.
Multi-Chamber & Hybrid System (멀티 시스템)
ATC-M 시리즈 Multi-Technique System은 싱글 챔버 (하이브리드 시스템) 또는 멀티 챔버에서 다양한 박막 증착과 이온 밀링 (ion milling), 분석 평가 (analysis) 과정을 통합, 진공상태를 유지하면서 기재 또는 기판(substrate)의 in-situ 작업이 가능한 "공정과 공정을 잇는 다목적 장비"입니다. 본 시스템은 HV 또는 UHV로 구성되며, 원통형 또는 박스형, 가공 챔버 스타일로 구축될 수 있습니다.
- Multi-Chamber Systems - 메인 챔버와 연결된 챔버에서 증착, 밀링, 증발, 어닐링, PLD, 로드 락 및 분석 평가가 가능합니다.
- Hybrid Systems - 증착, 밀링, 증발, 어닐링, PLD 및 분석 평가가 조합된 load-locked single chamber.
AJA Multi-Technique은 Magnetron Sputtering, E-Beam Evaporation, Thermal Evaporation, Ion Milling, Ion Beam Deposition, Pulsed Laser Deposition (PVD), Ellipsometry, Rapid Thermal Anneal, Oxygenation and Nitridization, XPS/AUGER/LEED Analysis, MBE, RHEED, MOS, SIMS, RIBE를 포함하는 기술입니다.
㈜연진에스텍
YEONJIN S-Tech Corporation
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