Specific and refined.
Sample Prep Tool은 XRM용 마이크로 샘플을 제작하도록 설계된 레이저 기반 마이크로 머시닝 시스템입니다.
SamplePrep 툴은 3D XRM 샘플 생산 용으로 특별히 제작 된 레이저 미세 가공 툴입니다. 본 시스템은 거시적 벌크 샘플에서 수십, 수백 마이크론까지 측정되는 직경의 micro-pillar를 생산할 수 있습니다. 고급 레이저 가공 기능으로 프로그래밍 된 Sample Prep Tool은 암석, 세라믹, 금속 및 반도체와 같은 다양한 재료를 가공 할 수 있습니다. 통합된 비전 시스템으로 구축되어, 사용자가 매크로 벌크 샘플로 부터 특정 영역을 식별하고 타겟팅 할 수 있으므로, 마이크로 필러 샘플을 취할 수 있고, 사용자는 샘플 선택을 계속 조절할 수 있습니다.
Key Benefits
- Step by step laser process
- Programmable sample sizes
- Compatible with 3D X-ray microscopes
- Versatile material range
SamplePrep Specification
LASER TYPE
- Diode Pumped Solid State (DPSS)
DIMENSIONS
- 1470W x 1204D x 1945H (mm)
WEIGHT
- 1200kg
RELATED APPLICATIONS- FOR X-RAY MICROSCOPY
반도체 및 재료 연구, 오일, 가스 산업 전반에 걸쳐 Nanoscale XRM을 위한 샘플의 전처리에 대한 중요성이 높아지고 있습니다.
XRM (X-ray microscopy)은 다양한 시편 형태 및 샘플 크기에 따라 내부의 마이크로 구조 및 나노 구조에 대한 3 차원 이미징을 제공합니다.
고해상도 3D XRM을 사용하면 반도체 장치 분석 (analysis of semiconductor device), 재료 연구 시 금속 입자 구조 (grain structure of metal), 석유 및 가스 탐사를 위한 암석 샘플과 같은 분야에서 샘플을 비파괴 이미징(non-destructive imaging)이 가능합니다. Oxford Lasers는 현미경의 시야와 관통 깊이에 맞게 샘플 크기를 줄여야하는 이 작업을 효율적으로 수행하는 반자동 전처리 툴을 개발했습니다.
2 단계 레이저 공정을 사용하여 벌크한 재료를 작은 샘플로 만듭니다. 다시 이 샘플은 사용 분야에 맞게 전형적인 50 마이크로미터의 적당한 크기로 축소됩니다.
레이저 마이크로 머시닝은 암석과 세라믹에서 금속 및 반도체에 이르기까지 다양한 재료의 전처리가 가능합니다. Oxford Lasers는 10 여년 이상 전 세계 기업 및 연구 기관에 시료 전처리 툴을 공급해 왔습니다.
