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Laser Micromachining Systems

Industrial laser micromachining tools and research laser micromachining systems

Sample Preparation Tool for XRM

Specific and refined.

Sample Prep Tool은 XRM용 마이크로 샘플을 제작하도록 설계된 레이저 기반 마이크로 머시닝 시스템입니다.

SamplePrep 툴은 3D XRM 샘플 생산 용으로 특별히 제작 된 레이저 미세 가공 툴입니다. 본 시스템은 거시적 벌크 샘플에서 수십, 수백 마이크론까지 측정되는 직경의 micro-pillar를 생산할 수 있습니다. 고급 레이저 가공 기능으로 프로그래밍 된 Sample Prep Tool은 암석, 세라믹, 금속 및 반도체와 같은 다양한 재료를 가공 할 수 있습니다. 통합된 비전 시스템으로 구축되어, 사용자가 매크로 벌크 샘플로 부터 특정 영역을 식별하고 타겟팅 할 수 있으므로, 마이크로 필러 샘플을 취할 수 있고, 사용자는 샘플 선택을 계속 조절할 수 있습니다.

 

Key Benefits

  • Step by step laser process
  • Programmable sample sizes
  • Compatible with 3D X-ray microscopes
  • Versatile material range

 

SamplePrep Specification

LASER TYPE    

  • Diode Pumped Solid State (DPSS)

DIMENSIONS  

  • 1470W x 1204D x 1945H (mm)

WEIGHT    

  • 1200kg

 

RELATED APPLICATIONS- FOR X-RAY MICROSCOPY

Shale rock prepared by laser micromachining

반도체 및 재료 연구, 오일, 가스 산업 전반에 걸쳐 Nanoscale XRM을 위한 샘플의 전처리에 대한 중요성이 높아지고 있습니다.

 

XRM (X-ray microscopy)은 다양한 시편 형태 및 샘플 크기에 따라 내부의 마이크로 구조 및 나노 구조에 대한 3 차원 이미징을 제공합니다.

고해상도 3D XRM을 사용하면 반도체 장치 분석 (analysis of semiconductor device), 재료 연구 시 금속 입자 구조 (grain structure of metal), 석유 및 가스 탐사를 위한 암석 샘플과 같은 분야에서 샘플을 비파괴 이미징(non-destructive imaging)이 가능합니다. Oxford Lasers는 현미경의 시야와 관통 깊이에 맞게 샘플 크기를 줄여야하는 이 작업을 효율적으로 수행하는 반자동 전처리 툴을 개발했습니다.

2 단계 레이저 공정을 사용하여 벌크한 재료를 작은 샘플로 만듭니다. 다시 이 샘플은 사용 분야에 맞게 전형적인 50 마이크로미터의 적당한 크기로 축소됩니다.

레이저 마이크로 머시닝은 암석과 세라믹에서 금속 및 반도체에 이르기까지 다양한 재료의 전처리가 가능합니다. Oxford Lasers는 10 여년 이상 전 세계 기업 및 연구 기관에 시료 전처리 툴을 공급해 왔습니다.

 

Oxford Lasers Ltd., UK
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