GLOVEBOX SYSTEMS OVERVIEW

OLED 및 OPV, OTFT 연구, 그래핀 및 2D 재료와 같은 많은 분야의 재료는 산소와 습기에 민감하기에 불활성 환경 내에서의 취급이 필수입니다. 이러한 경우 증착 장비는 제어된 불활성 분위기를 제공하는 글러브박스 인클로저로 또는 글러브박스 인클로저에서 재료의 이동이 가능하여야 합니다. Moorfield는 진공 증착 외에도 글러브박스 통합형 장비에 에칭(소프트 에칭 포함)과 어닐링 하드웨어를 장착할 수도 있도록 했습니다. 

 

Glovebox Setups:

Moorfield는 고객 요구 사항에 유연한 솔루션과 글러브박스 통합형의 시스템을 완전한 패키지로 제공합니다. MiniLab 026과 MiniLab 090 모델은 Inert, Vigor, Jacomex를 비롯한 대부분 제조업체의 글로브박스에 장착할 수 있습니다. 모든 글러브박스는 수분, 산소 및 용매 정화 장치, 산소 및 수분 센서, 이송 대기챔버, 선반 및 조명과 같은 표준 기능과 함께 사용할 수 있습니다.

In all cases, Moorfield is experienced in working with glovebox design teams to provide hassle-free solutions.

Configurations:

Examples of combined MiniLab/glovebox setups include:

•  A single glovebox section housing a MiniLab tool.
•  A single glovebox section containing a MiniLab tool together with a spin-coater.
•  A two-section glovebox system with a MiniLab tool in one section and a spin-coater in the other, allowing for independent solvent and deposition work.

Glovebox annealing

다양한 R&D 어플리케이션은 장비 또는 기능성 재료 전처리를 위해 제어된 조건에서 기판 가열이 필요합니다. 종종, 불활성 환경과의 샘플 이동은 공통의 요구사항

입니다. Moorfield는 이를 지원합니다. 

Glovebox-compatible MiniLab 026 systems can be fitted with a variety of heating technologies:

•  Quartz lamp: IR을 생성하는 quartz lamp 사용. 최대 500°C로 기판을 가열하는 효율적인 비용. 대부분의 분위기와 호환됩니다. 
•  Carbon-carbon composite (CCC): 500°C 이상의 기판 온도가 필요한 경우 카본 복합체(CCC)를 사용하여, 최대 1000 °C의 가열이 가능합니다.
•  SiC-coated CCC: 고온 및 내산소성이 요구되는 경우 CCC 소자는 SiC의 resistant layer로 코팅됩니다.
• 최대 6인치의 기판을 가열하는 heating stage 사용.
• 또한 MFC-controlled process gas 및 전자동 압력 제어 장치를 장비에 장착할 수 있습니다. 

Glovebox annealing을 위한 Moorfield system: MiniLab 026

Glovebox soft-etching

그래핀과 2D 재료 연구는 종종 불활성 환경에서 샘플 처리가 필요합니다. 에칭도 일반적인 요구 사항으로, Moorfield는 소프트 에칭 하드웨어가 내장된 글러브박스 통합형 MiniLab 026 시스템을 제공합니다.

Glovebox Soft-Etching with Moorfield Systems:

소프트 에칭 기술은 고해상도 제어와 함께 낮은 플라즈마 전력을 제공하며 여러 응용 분야에 이상적입니다. 

•  Substrate preparation for mechanical exfoliation
•  Material patterning
•  Defect engineering

Glovebox soft-etching을 위한 Moorfield system: MiniLab 026

Glovebox deposition

불활성 환경에서 시료를 처리하는 금속, 유.무기 박막 증착을 위한 Glovebox 통합 MiniLab 시스템.

글러브박스 통합에 적합한 MiniLab 시스템은 MiniLab 026과 MiniLab 090입니다. MiniLab 026은 글러브박스 바닥에 앉히는 반면 MiniLab 090은 특수 설계된 글러브박스 후면에 맞고 인글러브박스를 위한 전후면 도어를 제공합니다. 편리한 서비스 액세스를 위한 외부 액세스와 함께 nanoETCH 시스템, 글러브박스 통합형 Moorfield 어닐링 및 전자빔 evaporation system 제공가능합니다.

Glovebox integration with Moorfield systems

The MiniLab 026 and 090 tools can be fitted with key PVD techniques:

•  Thermal Evaporation
•  Low-temperature thermal evaporation (LTE)
•  Magnetron sputtering

Single or multiple technique configurations can be supplied.

Research-grade vacuum deposition with inert sample handling