그래핀과 탄소나노튜브(CNT)는 독특한 전기, 기계적 및 구조적 특성을 감안하여 엄청난 연구 성과를 불러왔습니다. 이러한 특성 덕분에 이 재료와 제품의 도입은 광범위한 응용 분야에 혁신을 가져와 특이한 재료 특성으로 인한 새로운 종류의 디바이스와 제품이 도래할 것임을 예상합니다.
Moorfield의 nanoCVD 제품군은 신속하고 고품질의 그래핀 또는 CNT 생산을 제공하는 컴팩트한 벤치탑 툴로써, 신뢰성있는 주문형 소스가 필요한 탄소 나노물질 응용 분야에 중점을 둔 연구에 이상적입니다. 시스템은 튜브퍼니스(tube furnace, hot wall) 대비 주요 이점이 있는 cold-wall을 기반으로 합니다.
모든 nanoCVD 시스템은 연결이 쉽고 설치가 빠르며 당사의 전문가에 의해 기술지원됩니다. 터치스크린 HMI는 모든 중요한 조건을 처리하는 레시피 기반의 멀티스테이지 공정 제어를 제공합니다.
고품질의 그래핀을 빠르게 합성하기 위한 컴팩트한 강화플라즈마 3”, 4” 웨이퍼 스케일의 CVD(Chemical Vapour Deposition). Read more
A compact, plasma-enhanced, wafer-scale CVD (Chemical Vapour Deposition) system for rapid synthesis of high-quality graphene.
Growth schemes
Compatible with numerous CVD methods:
고성능의 탄소나노튜브 합성을 위한 컴팩트한 턴키 방식의 스케일 업 가능한 CVD 시스템 . Read more
A compact, turn-key and scalable CVD system for high-throughput carbon nanotube synthesis – with proven performance.
Depending on recipes and substrate/catalyst combinations, nanoCVD-8N units can create different CNT morphologies:
CNTS can be formed using a variety of substrates, such as SiO2/Si, Si3N4 and quartz, while typical catalysts include nanoparticles of Fe, Co and Ni.
고품질의 그래핀의 신속한 합성을 위한 주문형 벤치탑 그래핀 CVD 시스템. 오염 및 운영 비용을 줄이고 조건 제어의 강화를 완전 자동화된 콜드 월(cold-wall) 기술 채용. Read more
A benchtop graphene CVD system for rapid, on-demand synthesis of high-quality graphene. Fully automated cold-wall technology for reduced contamination and running costs, and enhanced conditions control.