Electron beam evaporation (E-beam evaporation)은 고에너지 전자스트림에 의한 충돌을 통해 증발물질을 고온으로 가열함으로써, 내화 금속 및 금속 산화물을 포함하여 증발 온도가 매우 높은 재료의 증착에 쓰이는 기술입니다. Moorfield의 MiniLab 제품군은 전형적인 electron beam evaporation 장비입니다.
MiniLab 125는 modular concept의 pilot-scale 시스템입니다. 대형 챔버를 사용하여 넓은 영역을 코팅하도록 부속 세트를 크게 늘릴 수 있으며, 다양한 load-lock 옵션을 통해 높은 처리량의 작업이 가능합니다. 동시에 본 시스템은 사용자 어플리케이션에 맞추는 완벽한 customize가 지원됩니다.
MiniLab 090 시스템은 글로브박스와 호환됩니다. MiniLab 090은 깊이있는 긴 챔버를 사용하므로 고성능 증착 (high-performance evaporation)에 이상적이며, 동시에 마그네트론 스퍼터링(magnetron sputtering)에 사용할 수 있습니다.
MiniLab 080은 최적의 균일한 증착 결과를 내고자 하는 열 증착 (thermal evaporation), e-beam evaporation, 저온 증착 (low-temperature evaporation)에 사용되며, MiniLab 080에는 working distance가 긴 챔버 (tall chamber)가 제공됩니다.
MiniLab 060은 MiniLab 제품군에서 가장 인기 있는 플랫폼으로, multiple-source magnetron sputtering과 thermal evaporation, e-beam evaporation에 이상적인 front-loading box-type chamber를 사용합니다.
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